萊伯泰科《硅片表面金屬離子國產(chǎn)檢測儀器首創(chuàng )項目》 獲中國檢驗檢測學(xué)會(huì )科學(xué)技術(shù)獎

近期，“2023年度中國檢驗檢測學(xué)會(huì )科學(xué)技術(shù)獎”獲獎名單公布，北京萊伯泰科儀器股份有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)“萊伯泰科”）憑借其《硅片表面金屬離子國產(chǎn)檢測儀器首創(chuàng )項目》榮獲科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎二等獎。

該獎項由中國檢驗檢測學(xué)會(huì )設立，旨在表彰那些在檢驗檢測科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域或相關(guān)領(lǐng)域，通過(guò)技術(shù)發(fā)明、科技進(jìn)步、國際科技合作等活動(dòng)，對推動(dòng)檢驗檢測科學(xué)發(fā)展做出顯著(zhù)貢獻的組織和個(gè)人。

萊伯泰科于2021年5月和2023年3月分別推出了自主研發(fā)的LabMS 3000電感耦合等離子體質(zhì)譜儀和LabMS 5000電感耦合等離子體串聯(lián)質(zhì)譜儀，其技術(shù)成熟度與產(chǎn)品可靠性已經(jīng)滿(mǎn)足國內集成電路制造企業(yè)對28nm以上制程硅片表面金屬離子檢測的需求，并已成功應用于半導體晶圓制造企業(yè)，在半導體行業(yè)有了巨大突破。

萊伯泰科此次獲獎的《硅片表面金屬離子國產(chǎn)檢測儀器首創(chuàng )項目》成功解決了國產(chǎn)儀器在此領(lǐng)域的技術(shù)空白，有望打破國外技術(shù)的長(cháng)期壟斷。該項目依托先進(jìn)的ICP離子源技術(shù)、加強的離子傳輸系統和基于CAN總線(xiàn)的電控系統，實(shí)現了儀器的高效穩定運行及精準檢測，滿(mǎn)足了半導體硅片行業(yè)對極低檢出限的嚴苛要求。

憑借在電感耦合等離子體質(zhì)譜技術(shù)領(lǐng)域的豐富創(chuàng )新經(jīng)驗，萊伯泰科一直致力于為半導體行業(yè)提供更加精準、高效的解決方案。今天的榮譽(yù)標志著(zhù)萊伯泰科在科技創(chuàng )新道路上達到了新的里程碑。未來(lái)，萊伯泰科將繼續專(zhuān)注于高端科研設備的研發(fā)，努力推動(dòng)科學(xué)儀器技術(shù)的持續進(jìn)步，為行業(yè)的發(fā)展貢獻自己的智慧和力量。

電感耦合等離子體質(zhì)譜儀LabMS 3000 ICP-MS

l   強大：集成型高基質(zhì)進(jìn)樣系統，支持在線(xiàn)氬氣稀釋和有機樣品加氧除碳，從而減少樣品前處理時(shí)間并避免此過(guò)程中引入的各種污染

l    精準：新一代碰撞反應池技術(shù)，消除棘手的多原子離子和雙電荷離子干擾，提升數據質(zhì)量

l   安全：具有多重安全防控以及定時(shí)維護日志，確保儀器在安全、可靠的狀態(tài)下運行，盡量減少計劃外的停機和提供安全保護

l   智能：HiMass智能工作站，中英文語(yǔ)言實(shí)時(shí)切換，支持接入實(shí)驗室管理系統和定制報告模版，向導式設計更符合中國人操作習慣

l      高效：與LabTech前處理設備無(wú)縫銜接實(shí)現一站式元素分析解決方案，使元素分析更高效、更準確、更安全

LabMS 5000 電感耦合等離子體串聯(lián)質(zhì)譜儀（ICP-MS/MS）

l    精準：MS/MS模式實(shí)現受控且可靠的干擾去除，精準去除質(zhì)量干擾離子，從而獲得更低的檢測限和準確的超痕量分析結果。

l    穩定：采用工業(yè)標準27.12MHz 全固態(tài)RF發(fā)生器，具有高穩定性及可靠性；優(yōu)異的離子傳輸系統設計即使在MS/MS模式下也具有良好的檢測穩定性。

l    可靠：通過(guò) SEMI S2 認證，多達十重安全防護配置，帶來(lái)全面可靠的安全防護，保證儀器長(cháng)時(shí)間安全可靠運行。

l   強大：全基體進(jìn)樣系統結合接口設計及加強離子傳輸系統，帶來(lái)強大的基體耐受性，即使高基體直接進(jìn)樣也可有效降低信號漂移。

l    易用：HiMass智能工作站，一鍵式，向導式、模塊化設計，界面簡(jiǎn)潔直觀(guān)，易學(xué)易用，提高工作效率。